德國式傳感器，BURKERT傳感器樣本

    所以當設定值或實際值變化時，該傳感

    管道中的層流元件產生一個必需的壓差，

    (RS) 不斷被加熱，使其與介質溫度（由 RT 測得）

    工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間

    的硅芯片，用于測量流量。采

    其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶 CMOS 傳感器

    用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的

    該溫度傳感器的熱量、與介質直

    該式傳感器為 CTA（恒溫風速計）

    接接觸，因此具有許多特定的YS，

    溫度傳感器（分別位于上游和下游）。

    如使加熱電阻保持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的

    。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內，

    氣體通道中的一個電阻 (RT) 測量介質溫度，另一個阻值電阻

    器的響應時間極短，只有幾百毫秒。

    使小部分流量進入旁路管道。旁路管

    的 MFC 具有100 ms 的響應時間，且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。

    MFC 中合適的流量調節確保其所測得的質量流量非常

    8711/8701、8712/8702、8713/8703 型

    五個電阻連接成一個測量電橋。

    CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。主

    之間始終保持一個恒定的溫差。所需的加熱電

    電壓差即可用于測量旁路通道內流過芯片的氣體的質量流量。

    此外，該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。

    CMOS 傳感器道內壁上裝有帶膜

    與在主管道中進行測量的式傳感器不同，

    保持一個恒定的溫差。這兩個電阻都直接位于氣體通道內；

    流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。

    另外三個電阻位于氣體通道之外。

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