SMC流量開關PFM725-01-C原理介紹

數字流量開關-pfm7系列

SMC的PFM系列為雙流量開關，設計用于檢測真空中的微芯片元件吸收以及過濾器和噴嘴中的擁塞。

緊湊型輕便設計，適用于二氧化碳、空氣、氮氣或氬氣。

流率范圍:10、25、50,100l/min**小單位設置:0.01l/min重復性:±1%F.S.或更！

潤滑脂-自由流量調節閥集成-減少布管和節省空間的響應時間可設置

顯示一體型和分離型兩種形式。

*可以進行流量的設定和檢出。

設定流量范圍(L/min) :

0.2~10 (0. 2~5)

0.5~25 (0. 5~12.5)

1~50 (1~25)

2~100 (2~50) 用于使用C02

SMC流量開關PFM系列適用于空氣、N2、Ar、C02。

無潤滑脂規格。

與流量調整閥一體化。

小型、輕量、省空間。

*可以顯示瞬時流量或累計流量。

*傳感器部分和顯示部分有一體式和

分離式兩種。

* 2個輸出,可以獨立設定不同的流量。

*有開關輸出、累計脈沖輸出和模擬

輸出。

有開關輸出、累計脈沖輸出和模擬輸出。

瞬時流量和累計流量可切換。

90℃高溫可用。

IP65

PFM710-01-C-M

PFM710-01-D

PFM710-01-D-M

PFM710-01-F

PFM710-01-G

PFM710-C4-A

PFM710-C4-A-A

PFM710-C4-A-M

PFM710-C4-B-M

PFM710-C6-A

PFM710-C6-A-M

PFM710-C6-C-M

PFM710-C6-C-MAR

PFM710-C6-E-M

SMC流量開關PFM725-01-C原理介紹