電 話：021-39526589
網址：m.chamkay.com
地 址：上海嘉定區嘉涌路99弄6號樓713室
神視薄型光幕傳感器 FT-Z20HBW
10?+60℃(60℃ 樹脂部：氯化乙烯
樹脂 電纜 帶耐油性高頻同軸電纜3m(特性電阻50Ω
電 話：O21-3952 983O轉8OO9
手 機；189 17O7 4297
傳 真：O21-3952983O-8OO8
企業QQ；288 O626 O83
郵箱；18917O74297@163.com
使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH
用環境溫度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃
神視薄型光幕傳感器 FT-Z20HBW
適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
晶圓間距 間距3mm以上時可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
使用環境照明度 白熾燈：受光面
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
耐電壓 AC1,000V 1分鐘所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與
外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下
神視薄型光幕傳感器 FT-Z20HBW
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6號樓713室
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