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 多種化學液體的混合液體占多數，所以無法把握所有的影響。請在充分確認產品構成材料與使用流體的適用性后，再判斷是否使用。

注2 ： 如果是氫氟酸或含有氫氟酸的化學液體，則流體溫度為5~80℃。使用氫氟酸或者含有氫氟酸的化學液體時，不能使用帶旁路的閥體。

注3 ： 在100℃以上使用硫酸+過氧化氫水時，請垂詢我公司。

注4 ： 在流體溫度達80℃以上使用胺類反萃液時，請進行定期更換。請較1次/1年。

注5 ： 如果是氣體，較大可發生1cm3● 外觀整體為方形、大方美觀

● 方形設計、安全性提高、便于安裝

● 氣缸輕量化設計、重量減輕

● 緊湊型設計、省安裝空間

● 標準化設計、易于選型● 外觀整體為方形、大方美觀

● 方形設計、安全性提高、便于安裝

● 氣缸輕量化設計、重量減輕

● 緊湊型設計、省安裝空間以前的帶破壞裝置相比，設置面積削減44％，

質量削減53％，適合制造裝置的小型化

● 即使在空間也可設置，提高裝置

設計的自由度

● 通過輕量化，有利于將裝置設置于可動部

3 可配置壓力

傳感器 ● 裝置配置真空用壓力傳感器，實現緊湊化

● 省空間實現負壓檢測

● 采用曲別針式固定壓力傳感器，

提

● 標準化設計、易于選型● 外觀整體為方形、大方美觀

● 方形設計、安全性提高、便于安裝

● 氣缸輕量化設計、重量減輕

● 緊湊型設計、省安裝空間

● 標準化設計、易于選型面的注意事項。

● 用于臭氧、有機溶劑時，考慮到對產品構成材料的影響，請事先垂詢。

● 如果是漿料及UV硬化劑等含有粒子，容易固化、凝膠化的流體，則會對性能產生影響。

● 如果是含有表面活性劑的流體及反萃液等浸透性高的流體時，流體可能會浸入零組件。

● 長期使用滲透性高的鹽酸、氫氟酸、硝酸等化學液體時，受滲透氣體的影響，液體接觸部以外的零組件也會老化。

● 安全起見，請務必按照1~2次/年的頻率進行定期檢查，確認構成組件有無變色、變形、腐蝕等異常。

● 傳感器不是防塵、防爆結構。不能

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